BS-4020A Trinocular Industrial Wafer Inspection Microscope
Танилцуулга
BS-4020A үйлдвэрлэлийн хяналтын микроскоп нь янз бүрийн хэмжээтэй өрөм, том ПХБ-ыг шалгахад зориулагдсан. Энэхүү микроскоп нь найдвартай, тав тухтай, нарийн ажиглалт хийх боломжийг олгодог. Төгс гүйцэтгэсэн бүтэц, өндөр нарийвчлалтай оптик систем, эргономик үйлдлийн систем бүхий BS-4020 нь мэргэжлийн дүн шинжилгээ хийж, вафель, FPD, хэлхээний багц, ПХБ, материал судлал, нарийн цутгамал, металлокерамик, нарийн хэв, хагас дамжуулагч ба электроник гэх мэт.
1. Төгс микроскопийн гэрэлтүүлгийн систем.
Микроскоп нь Kohler гэрэлтүүлэгтэй бөгөөд бүх харах талбарт тод, жигд гэрэлтүүлгийг өгдөг. NIS45 хязгааргүй оптик системтэй уялдуулан, өндөр NA болон LWD объектив, төгс бичил харуурын дүрслэл хийх боломжтой.
Онцлогууд
Тусгал гэрэлтүүлгийн тод талбар
BS-4020A нь маш сайн хязгааргүй оптик системийг ашигладаг. Харах талбар нь жигд, тод, өнгөт хуулбарлах өндөр зэрэгтэй. Тунгалаг бус хагас дамжуулагчийн дээжийг ажиглахад тохиромжтой.
Харанхуй талбай
Энэ нь харанхуй талбайн ажиглалт, нарийн зураас гэх мэт алдаа дутагдлыг өндөр мэдрэмжтэй шалгах үед өндөр нарийвчлалтай зургийг гаргаж авах боломжтой. Энэ нь өндөр шаардлага бүхий дээжийн гадаргуугийн үзлэгт тохиромжтой.
Дамжуулсан гэрэлтүүлгийн тод талбар
FPD болон оптик элементүүд гэх мэт тунгалаг дээжийн хувьд тод талбайн ажиглалтыг дамжуулсан гэрлийн конденсатороор хийж болно. Үүнийг мөн DIC, энгийн туйлшрал болон бусад дагалдах хэрэгсэлд ашиглаж болно.
Энгийн туйлшрал
Энэхүү ажиглалтын арга нь металлургийн эд, ашигт малтмал, LCD болон хагас дамжуулагч материал зэрэг хоёр хугарлын сорьцонд тохиромжтой.
Тусгал гэрэлтүүлэг DIC
Энэ аргыг нарийн хэвний жижиг ялгааг ажиглахад ашигладаг. Ажиглалтын техник нь энгийн ажиглалтын аргаар харж болохгүй өндрийн өчүүхэн ялгааг товойлгон, гурван хэмжээст дүрс хэлбэрээр харуулж чадна.
2. Өндөр чанартай Semi-APO болон APO Bright field & Dark field зорилтууд.
Олон давхаргат бүрэх технологийг нэвтрүүлснээр NIS45 цувралын хагас APO болон APO объектив линз нь хэт ягаан туяанаас хэт улаан туяа хүртэлх бөмбөрцөг хэлбэрийн гажиг болон өнгөний гажигийг нөхөж чаддаг. Зургийн тод байдал, нягтрал, өнгөт дүрслэлийг баталгаажуулж болно. Төрөл бүрийн томруулдаг өндөр нарийвчлалтай, хавтгай дүрс бүхий зургийг авах боломжтой.
3. Үйлдлийн самбар нь микроскопын урд талд, ажиллахад тохиромжтой.
Механизмын хяналтын самбар нь микроскопын урд талд (операторын ойролцоо) байрладаг бөгөөд энэ нь дээжийг ажиглахад үйл ажиллагааг илүү хурдан бөгөөд хялбар болгодог. Энэ нь удаан хугацааны ажиглалтаас үүдэлтэй ядаргаа, их хэмжээний хөдөлгөөнөөс үүдэлтэй хөвөх тоосыг багасгаж чадна.
4. Эрго хазайсан гурвалжин харах толгой.
Ergo хазайсан харах толгой нь ажиглалтыг илүү тохь тухтай болгож, олон цагаар ажилласны улмаас булчингийн хурцадмал байдал, таагүй байдлыг багасгах боломжтой.
5. Анхаарал төвлөрүүлэх механизм ба гарны бага байрлалтай тайзны нарийн тохируулгатай бариул.
Тайзны төвлөрөх механизм болон нарийн тохируулгатай бариул нь эргономик загварт нийцсэн гарны бага байрлалын загварыг ашигладаг. Үйл ажиллагаа явуулж байх үед хэрэглэгчид гараа өргөх шаардлагагүй бөгөөд энэ нь хамгийн их тав тухтай мэдрэмжийг өгдөг.
6. Тайз нь шүүрч авах бариултай.
Авцуулах бариул нь тайзны хурдан, удаан хөдөлгөөний горимыг ойлгож, том талбайн дээжийг хурдан олох боломжтой. Тайзны нарийн тохируулгатай бариултай хамт ашиглах үед дээжийг хурдан бөгөөд үнэн зөв олоход хэцүү байх болно.
7. Том хэмжээтэй тайзыг (14”x12”) том өрөм болон ПХБ-д ашиглаж болно.
Микроэлектроник ба хагас дамжуулагч дээжийн талбайнууд, ялангуяа вафель нь том хэмжээтэй байдаг тул энгийн металлографийн микроскопын шат нь тэдний ажиглалтын хэрэгцээг хангаж чадахгүй. BS-4020A нь том оврын тайзтай, хөдөлгөөний өргөн хүрээтэй, хөдөлгөхөд хялбар, тохиромжтой. Тиймээс энэ нь том талбайн үйлдвэрлэлийн дээжийг микроскопоор ажиглахад тохиромжтой хэрэгсэл юм.
8. 12” өргүүрийн тавиур нь микроскоптой хамт ирдэг.
Энэхүү микроскопоор 12 инчийн өрмөнцөр болон түүнээс бага хэмжээтэй өрөмийг ажиглаж болох бөгөөд хурдан бөгөөд нарийн хөдөлгөөнтэй тайзны бариул нь ажлын үр ашгийг ихээхэн нэмэгдүүлэх болно.
9. Эсрэг статик хамгаалалтын бүрхүүл нь тоосжилтыг багасгана.
Үйлдвэрийн дээж нь хөвөгч тоосноос хол байх ёстой бөгөөд бага зэрэг тоос нь бүтээгдэхүүний чанар, туршилтын үр дүнд нөлөөлдөг. BS-4020A нь статикийн эсрэг хамгаалалтын том талбайтай бөгөөд энэ нь дээжийг хамгаалах, туршилтын үр дүнг илүү нарийвчлалтай болгохын тулд хөвөх тоос, тоос унахаас сэргийлдэг.
10. Ажлын урт зай, өндөр NA зорилго.
Хэлхээний самбар дээрх электрон эд анги, хагас дамжуулагч нь өндрийн зөрүүтэй байдаг. Тиймээс энэ микроскоп дээр урт хугацааны ажлын зайн зорилтуудыг баталсан. Үүний зэрэгцээ, үйлдвэрлэлийн дээжийн өнгөний нөхөн үржихүйн өндөр шаардлагыг хангахын тулд олон давхаргат бүрэх технологийг олон жилийн туршид боловсруулж, сайжруулж, дээжийн жинхэнэ өнгийг сэргээх боломжтой BF&DF хагас APO, APO өндөр NA-тай объектуудыг нэвтрүүлсэн. .
11. Төрөл бүрийн ажиглалтын аргууд нь янз бүрийн туршилтын шаардлагыг хангаж чадна.
| Гэрэлтүүлэг | Гэрэлт талбай | Харанхуй талбар | DIC | Флюресцент гэрэл | Туйлширсан гэрэл |
| Тусгал гэрэлтүүлэг | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| Дамжуулсан гэрэлтүүлэг | ○ | - | - | - | ○ |
Өргөдөл
BS-4020A үйлдвэрлэлийн хяналтын микроскоп нь янз бүрийн хэмжээтэй өрөм, том ПХБ-ыг шалгахад тохиромжтой хэрэгсэл юм. Энэхүү микроскопыг их дээд сургууль, электроникийн болон чипний үйлдвэрүүдэд вафель, FPD, хэлхээний багц, ПХБ, материал судлал, нарийн цутгамал, металлокерамик, нарийн хэв, хагас дамжуулагч, электроникийн судалгаа, шалгалт хийхэд ашиглаж болно.
Тодорхойлолт
| Зүйл | Тодорхойлолт | BS-4020A | BS-4020B | |
| Оптик систем | NIS45 Хязгааргүй өнгө зассан оптик систем (Хоолойн урт: 200мм) | ● | ● | |
| Харах толгой | Ergo Tilting Trinocular Head, 0-35° налуу тохируулгатай, сурагч хоорондын зай 47мм-78мм; хуваах харьцаа Нүдний шил: Trinocular=100:0 эсвэл 20:80 эсвэл 0:100 | ● | ● | |
| Seidentopf Trinocular Head, 30° налуу, сурагч хоорондын зай: 47мм-78мм; хуваах харьцаа Нүдний шил: Trinocular=100:0 эсвэл 20:80 эсвэл 0:100 | ○ | ○ | ||
| Seidentopf дуран толгой, 30° налуу, хүүхэн хараа хоорондын зай: 47мм-78мм | ○ | ○ | ||
| Нүдний шил | SW10X/25 мм-ийн хэт өргөн хүрээтэй нүдний шил, диоптрыг тохируулах боломжтой | ● | ● | |
| SW10X/22мм-ийн хэт өргөн хүрээтэй нүдний шил, диоптрыг тохируулах боломжтой | ○ | ○ | ||
| Хэт өргөн талбайн нүдний шил EW12.5X/17.5мм, диоптрыг тохируулах боломжтой | ○ | ○ | ||
| WF15X/16мм өргөн талбайн төлөвлөгөөний нүдний шил, диоптрыг тохируулах боломжтой | ○ | ○ | ||
| WF20X/12мм өргөн хүрээтэй нүдний шил, диоптрыг тохируулах боломжтой | ○ | ○ | ||
| Зорилго | NIS45 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF & DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20мм | ● | ● |
| 10X/NA=0.3, WD=11мм | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0мм | ● | ● | ||
| NIS45 Infinite LWD Plan APO Objective (BF & DF), M26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0мм | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0мм | ● | ● | ||
| NIS60 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20мм | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3, WD=11мм | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0мм | ○ | ○ | ||
| NIS60 Infinite LWD Plan APO Objective (BF), M25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0мм | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0мм | ○ | ○ | ||
| Хамрын хэсэг | Буцах секступ хамар (DIC үүртэй) | ● | ● | |
| Конденсатор | LWD конденсатор NA0.65 | ○ | ● | |
| Дамжуулсан гэрэлтүүлэг | Оптик шилэн гэрлийн хөтөч бүхий 40W LED тэжээлийн хангамж, эрчимийг тохируулах боломжтой | ○ | ● | |
| Тусгал гэрэлтүүлэг | Ойсон гэрэл 24V/100W галоген чийдэн, Koehler гэрэлтүүлэг, 6 байрлалтай цамхагтай | ● | ● | |
| 100 Вт галоген чийдэнгийн байшин | ● | ● | ||
| 5W LED чийдэн, Koehler гэрэлтүүлэгтэй, 6 байрлалтай цамхаг бүхий ойсон гэрэл | ○ | ○ | ||
| BF1 тод талбайн модуль | ● | ● | ||
| BF2 тод талбайн модуль | ● | ● | ||
| DF харанхуй талбайн модуль | ● | ● | ||
| Суурилуулсан ND6, ND25 шүүлтүүр, өнгө засах шүүлтүүр | ○ | ○ | ||
| ЭКО функц | ЭКО товчлууртай ЭКО функц | ● | ● | |
| Анхаарал төвлөрүүлэх | Бага байрлалтай коаксиаль бүдүүн, нарийн фокус, нарийн хуваагдал 1μм, Хөдөлгөөний хүрээ 35мм | ● | ● | |
| Үе шат | 14"x12" (356ммx305мм) хэмжээтэй шүүрч авах бариултай 3 давхар механик шат; хөдлөх хүрээ 356ммX305мм; Дамжуулсан гэрлийн гэрэлтүүлгийн талбай: 356x284мм. | ● | ● | |
| Өргөст ялтсын тавиур: 12 инчийн өрөм барихад ашиглаж болно | ● | ● | ||
| DIC багц | Ойсон гэрэлтүүлэгт зориулсан DIC иж бүрдэл (10X, 20X, 50X, 100X зорилгод ашиглаж болно) | ○ | ○ | |
| Туйлшруулах хэрэгсэл | Ойсон гэрэлтүүлэгт зориулсан туйлшруулагч | ○ | ○ | |
| Ойсон гэрэлтүүлгийн анализатор, 0-360° эргүүлэх боломжтой | ○ | ○ | ||
| Дамжуулсан гэрэлтүүлгийн туйлшруулагч | ○ | ○ | ||
| Дамжуулсан гэрэлтүүлгийн анализатор | ○ | ○ | ||
| Бусад дагалдах хэрэгсэл | 0.5X C-холбогч адаптер | ○ | ○ | |
| 1X C-холбогч адаптер | ○ | ○ | ||
| Тоос бүрхэвч | ● | ● | ||
| Цахилгааны утас | ● | ● | ||
| Шалгалт тохируулгын слайд 0.01мм | ○ | ○ | ||
| Сорьц дарагч | ○ | ○ | ||
Жич: ● Стандарт хувцас, ○ Нэмэлт
Жишээ зураг
Хэмжээ
Нэгж: мм
Системийн диаграм
Сертификат
Логистик
